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量程：0-100, 0-200, 0-300, 0-400, 0-500 g/Nm3
介紹：它被設(shè)計(jì)成嵌入商業(yè)臭氧發(fā)生器中，以連續(xù)測(cè)量準(zhǔn)確的臭氧濃度。
優(yōu)點(diǎn)：452是基于微處理器的、能夠精準(zhǔn)可靠的測(cè)量氧氣或空氣中的高濃度臭氧的氣體測(cè)量模塊。
應(yīng)用：半導(dǎo)體 (CVD, ALD, etc.)
市場(chǎng)參考價(jià):59000元
美國(guó)Teledyne API 452型過(guò)程臭氧測(cè)量模塊
452是基于微處理器的、能夠精準(zhǔn)可靠的測(cè)量氧氣或空氣中的高濃度臭氧的氣體測(cè)量模塊。
測(cè)量原理是基于254nm波長(zhǎng)的紫外吸收法。讀數(shù)的單位可在重量百分比和克/立方米中選擇。
溫度補(bǔ)償和高達(dá)300kPa的壓強(qiáng)補(bǔ)償也是該系列儀器的標(biāo)準(zhǔn)特征。
該儀器緊湊的設(shè)計(jì)使得它在工業(yè)過(guò)程中的安裝更為簡(jiǎn)單。氣體路徑設(shè)計(jì)為直線（無(wú)轉(zhuǎn)角或彎管），能夠有效減少暴露表面積。452使用的測(cè)量模塊只對(duì)窄波段光譜敏感，無(wú)需紫外濾光器。紫外濾光器會(huì)被紫外線或濕度所影響，從而導(dǎo)致測(cè)量結(jié)果不準(zhǔn)確。 452中使用了兩個(gè)探測(cè)器：一個(gè)用于臭氧測(cè)量，另一個(gè)用于紫外燈強(qiáng)度變化的補(bǔ)償。這種獨(dú)特的設(shè)計(jì)使得測(cè)量模塊可在沒(méi)有維護(hù)或校準(zhǔn)的情況下長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行。該測(cè)量模塊提供模擬輸出、RS485/RS232輸出和4個(gè)光隔離狀態(tài)輸出以顯示測(cè)量模塊運(yùn)行狀態(tài)。
輸入/輸出和電源輸入連接是通過(guò)15針 D-sub 接頭實(shí)現(xiàn)的。在高純度應(yīng)用中，452支管可采用316L不銹鋼、10Ra表面粗糙度、1/4” VCR接頭。
規(guī)格
量程： 0-5, 0-10, 0-15, 0-20, 0-25% w/w,0-100, 0-200, 0-300, 0-400, 0-500 g/Nm3
壓力補(bǔ)償： 更高300kPa絕對(duì)壓強(qiáng)
耐壓： 115 psia
重復(fù)性 ：1%滿(mǎn)量程
響應(yīng)時(shí)間： T<2秒
零點(diǎn)飄移 ：1% 滿(mǎn)量程/月 (不累積)
溫度范圍 ：5-45°C
接觸材料 ：316L不銹鋼,聚四氟乙烯
配件： 1/4” 不銹鋼接合(管道)或高純度VCR?或HTC?配件，316L，10Ra表面粗糙度
流量 ：0.5 到 25.0 LPM
電源： +15 volts @ 1.5A 更大
指示器 ：4位LED顯示
模擬輸出： 0-5V滿(mǎn)量程
零點(diǎn)校準(zhǔn)： 觸點(diǎn)閉合輸入
數(shù)字輸出 ：測(cè)量模塊正常, 燈強(qiáng)度弱, 測(cè)量室污染, 無(wú)效讀數(shù)(光電隔離)
串行數(shù)據(jù)接口： RS232 或 RS485
尺寸： (高x寬x長(zhǎng)) 6.71” x 5.13” x 2.16” (170.4 mm x 130.3 mm x 54.8 mm)包含配件
重量： 2.8 磅 (1.27 千克)
認(rèn)證： CE 和 RoHS
保修 ：1 年
特征
標(biāo)準(zhǔn)的一年保修
緊湊型設(shè)計(jì)(12.3 in2占地面積)
量程從0 - 5%到0 - 25% w/w
溫度和壓力補(bǔ)償
單位可選擇 % w/w或g/Nm3
窄波段探測(cè)器，無(wú)需紫外濾光器
模擬輸出和RS232/485輸出
狀態(tài)輸出以監(jiān)測(cè)運(yùn)行狀況
為高純度和管路內(nèi)應(yīng)用設(shè)計(jì)
應(yīng)用
半導(dǎo)體 (CVD, ALD, etc.)
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